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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明提供一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置。本发明包括连接在一起的第一端盖板、第二端盖板和置于二者内部的声学产生及传播装置，第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室，腔室的输出端设有小孔，第一端盖板的输出端连接有小孔盖板，存储液态锡的腔室连接有供料管，小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节装置，集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中加压，温度调节装置用于调节第一端盖板的温度，声学产生及传播装置的输出端与所述存储液态锡的腔室相连，使其输出形成稳定的锡液滴靶，声学产生及传播装置配套有主动制冷装置。本发明解决了声学产生装置无法在高温下工作的问题。
主权项：1.一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置，其特征在于，包括：连接在一起的第一端盖板、第二端盖板和置于二者内部的声学产生及传播装置，所述第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室，所述腔室的输出端设有小孔，所述第一端盖板的输出端连接有小孔盖板，所述存储液态锡的腔室连接有供料管，所述小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节装置，所述集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中加压，所述温度调节装置用于调节第一端盖板的温度，所述声学产生及传播装置的输出端与所述存储液态锡的腔室相连，其用于使小孔处的喷射流发生破裂，形成稳定的锡液滴靶，所述声学产生及传播装置配套有主动制冷装置；所述声学产生及传播装置的输出端通过特制件与第一端盖板上的存储液态锡的腔室相连，所述特制件包括隔热块和薄膜，所述隔热块一侧为声学产生及传播装置的输出端，另一侧将薄膜压靠在第一端盖板上，声学产生及传播装置产生的声学振动传到特制件薄膜上，从而驱动锡滴产生装置产生稳定的锡滴；所述第二端盖板上集成有气压平衡管路，所述气压平衡管路用于平衡薄膜两侧的压力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置
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