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申请/专利权人：合肥恒力装备有限公司
摘要：本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体是一种废气处理组件及导电玻璃生产用CVD设备。本实用新型包括沿气体排放路径依次布置的分离器、冷凝器和洗涤器，所述分离器为旋风式分离器，该分离器上设置有水冷组件，该水冷组件用于分离器内废气降温及冷凝。本实用新型能对废气进行降温和预处理，不仅降低有害物质蒸发导致的有害物质排入大气，还有效减少了中和液的需求；同时，还能不停机实现中和液的更换，有效的提升了生产线整体的生产效率。
主权项：1.一种废气处理组件，其特征在于，该废气处理组件10包括沿气体排放路径依次布置的分离器12、冷凝器13和洗涤器14，所述分离器12为旋风式分离器12，该分离器12上设置有水冷组件，该水冷组件用于分离器12内废气降温及冷凝。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥恒力装备有限公司 一种废气处理组件及导电玻璃生产用CVD设备
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