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内部光罩盒盖及底板载运器 

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申请/专利权人:恩特格里斯公司

摘要:用于光罩盒的盖或底板的载运容器包含含有第一固定特征的第一壳体及含有第二固定特征的第二壳体。当连结所述第一壳体及所述第二壳体时,所述壳体界定能够容纳光罩盒的盖或底板的内部空间,且所述固定特征啮合所述盖或底板以防止所述盖或底板与所述第一壳体或第二壳体在平面的方向上移动。所述固定特征可使得同时存在接触所述盖或底板的刚性及弹性固定特征。一种存储盖或底板的方法可包含将所述盖或底板放置在第一壳体与第二壳体之间,且将所述第一壳体及所述第二壳体彼此连结。

主权项:1.一种用于光罩盒的盖或底板的容器,其包括:第一壳体,其包括多个第一固定特征;及第二壳体,其包括多个第二固定特征;其中:所述第一壳体及所述第二壳体经配置以连结在一起,当所述第一壳体及所述第二壳体经连结在一起时,所述第一壳体及所述第二壳体界定内部空间,所述内部空间经设定尺寸使得其能够容纳所述光罩盒的所述盖或所述底板,所述第一固定特征经配置以在第一预定位置处啮合所述光罩盒的所述盖或所述底板,所述第一固定特征对应于经提供在所述光罩盒的所述盖或所述底板的第一侧上的第一盒特征,所述第二固定特征经配置以在第二预定位置处啮合所述光罩盒的所述盖或所述底板,所述第二固定特征对应于经提供在所述光罩盒的所述盖或所述底板的第二侧上的第二盒特征,且当所述第一固定特征与所述第一盒特征啮合且所述第二固定特征与所述第二盒特征啮合时,所述啮合限制所述光罩盒的所述盖或所述底板与所述第一壳体或所述第二壳体中的至少一者在平面内的移动。

全文数据:

权利要求:

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