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薄膜研磨加工装置 

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申请/专利权人:株式会社不二越

摘要:本发明的目的在于提供一种薄膜研磨加工装置,其能够利用研磨薄膜对齿轮形状的矩形的外齿的齿面适当地进行研磨。本发明的薄膜研磨加工装置加工装置100的结构是利用研磨薄膜170对齿轮形状的工件W的齿面W2进行研磨的薄膜研磨加工装置,其具备:工件保持装置110,其将工件W保持为转动自如;齿轮形状的支承工具140,其隔着研磨薄膜170与工件W啮合;以及工具旋转用马达150,其使支承工具140旋转,在支承工具140旋转时,研磨薄膜170被进给,并且使工件W从动,从而对工件W的齿面W2进行研磨。

主权项:1.一种薄膜研磨加工装置,其利用研磨薄膜对齿轮形状的工件的齿面进行研磨,其中,该薄膜研磨加工装置具备:工件保持装置,其将所述工件保持为转动自如;齿轮形状的支承工具,其隔着所述研磨薄膜与所述工件啮合;以及工具旋转用马达,其使所述支承工具旋转,在所述支承工具旋转时,所述研磨薄膜被进给并且使所述工件从动,从而对该工件的齿面进行研磨。

全文数据:

权利要求:

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