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申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体的工业自动化技术领域，提供一种晶圆映射机构，晶圆映射机构包括固定座、运动组件、驱动组件和晶圆传感器组件，运动组件包括运动支架和传动单元，运动支架与传动单元连接，且传动单元与固定座活动连接，驱动组件与固定座相连接，驱动组件的输出端与传动单元传动连接；晶圆传感器组件用于检测晶圆的状态信息，晶圆传感器组件包括晶圆传感器发射端和晶圆传感器接收端，晶圆传感器发射端和晶圆传感器接收端均固定设于运动支架且二者对齐设置。晶圆传感器发射端和晶圆传感器接收端固定于同一运动支架的，始终处于对齐状态，晶圆状态信息的数据更可靠，稳定性更好。
主权项：1.一种晶圆映射机构，其特征在于，包括：固定座100；运动组件200，所述运动组件200包括运动支架210和传动单元220，所述运动支架210与所述传动单元220连接，且所述传动单元220与所述固定座100活动连接；驱动组件300，所述驱动组件300与所述固定座100相连接，所述驱动组件300的输出端与所述传动单元220传动连接；晶圆传感器组件，用于检测晶圆的状态信息，所述晶圆传感器组件包括晶圆传感器发射端410和晶圆传感器接收端420，所述晶圆传感器发射端410和所述晶圆传感器接收端420均固定设于所述运动支架210且二者对齐设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 晶圆映射机构
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