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申请/专利权人：株式会社则武;株式会社BBS金明
摘要：提供一种抛光垫1和这种晶圆5的凹槽抛光方法，尽可能减少具有凹槽7的晶圆5的浪费。本发明的抛光垫1，形成为以第1旋转轴心P为中心的圆环状。抛光垫1具有第1面1a、第2面1b、在外周侧连接第1面1a和第2面1b的抛光面3。抛光垫1，通过一边对形成于圆盘状晶圆5的指示晶轴的方向的凹槽7按压抛光面3，一边围绕第1旋转轴心P旋转，从而抛光凹槽7。抛光面3由磨料体形成，其含有由粘合剂树脂和纤维构成，形成有多个气孔的母材、和保持在母材内或气孔内的磨粒。
主权项：1.一种抛光垫1，其特征在于，形成为以第1旋转轴心P为中心的圆环状，具有：在与所述第1旋转轴心P大致正交的方向上延伸的圆环状的第1面1a；在与所述第1旋转轴心P大致正交的方向上延伸，位于所述第1面1s的反面的圆环状的第2面1b；在外周侧连接所述第1面1a和所述第2面1b的抛光面3，所述抛光垫1是通过一边对形成于圆盘形状的晶圆5的指示晶轴的方向的凹槽7按压所述抛光面3一边围绕所述第1旋转轴心P旋转，从而抛光所述凹槽7的抛光垫，所述抛光面3由磨料体形成，所述磨料体包含：包含粘合剂树脂和纤维，形成有多个气孔的母材；和保持在所述母材内或所述气孔内的磨粒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社则武 株式会社BBS金明 抛光垫和晶圆的凹槽抛光方法
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