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申请/专利权人：统雷有限公司
摘要：一种多轴定位器，包括：基座；平台；以及安装在基座上的多个致动器的布置。其中，所述多个致动器的布置经由多个单片式挠性件连接到所述平台，使得所述多个致动器的布置在多个运动轴上相对于所述基座移动所述平台。其中，所述多个致动器中的每一个包括粗略行程致动机构，粗略行程致动机构在所述多个致动器的布置的相应运动轴上与精细行程致动机构直接连接。其中，精细行程致动机构的行程分辨率高于粗略行程致动机构。
主权项：1.一种多轴定位器，包括：基座；平台，所述平台能够相对于所述基座移动；和多个致动器的布置，所述多个致动器的布置安装在所述基座上；其中，所述多个致动器的布置经由多个单片式挠性件连接到所述平台，使得所述多个致动器的布置在多个运动轴上相对于所述基座移动所述平台；其中，所述多个致动器中的每一个包括粗略行程致动机构，所述粗略行程致动机构在所述多个致动器的布置的相应运动轴上与精细行程致动机构直接连接；其中，所述精细行程致动机构的行程分辨率高于所述粗略行程致动机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 统雷有限公司 具有粗调和微调功能的多轴纳米定位器挠性平台
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