龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
摘要：一种MEMS压力传感器及其制作方法、压力检测装置，MEMS压力传感器包括：转接板；设置于转接板一侧的集成电路芯片；设置于转接板背离集成电路芯片一侧的传感器芯片；传感器芯片包括第一电极和第二电极，第一电极设置在转接板和第二电极之间；其中，第二电极包括：与第一电极相对的感压部和环绕感压部的边缘部，边缘部通过键合层固定在转接板上，第一电极、第二电极、键合层和转接板限定出空腔；传感器芯片的第一电极和第二电极均通过转接板与集成电路芯片电连接。
主权项：一种MEMS压力传感器，其中，包括：转接板；设置于所述转接板一侧的集成电路芯片；设置于所述转接板背离所述集成电路芯片一侧的传感器芯片；所述传感器芯片包括第一电极和第二电极，所述第一电极设置在所述转接板和所述第二电极之间；所述第二电极包括：与所述第一电极相对的感压部和环绕所述感压部的边缘部，所述边缘部通过键合层固定在所述转接板上，所述第一电极、所述第二电极、所述键合层和所述转接板限定出空腔；其中，所述传感器芯片的所述第一电极和所述第二电极均通过所述转接板与所述集成电路芯片电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方光电科技有限公司 压力传感器及其制作方法、压力检测装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号