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一种显微镜自动对焦方法及装置 

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申请/专利权人:合肥埃科光电科技股份有限公司

摘要:本发明属于工业相机技术领域,尤其涉及一种显微镜自动对焦方法及装置,该装置包括:变焦机构,位于自动对焦传感器前侧,替换自动对焦机构中的原检焦透镜,用于通过提高变焦机构的焦距,使变焦机构的放大倍率降低,从而缩小反射光束入射至自动对焦传感器上的激光图像,使离焦光束更集中,导致单位面积内光通量增大,使激光图像的亮度更高,以使自动对焦传感器感光面上的激光图像的灰度平均值大于阈值,此时,通过自动对焦传感器上的激光图像对应的图像信号提取有效信息,以进行质心计算,从而获取物镜焦点与待测样品表面的离焦量;解决了现有技术在对焦环境的抗干扰能力方面,存在对焦范围较小待测样品表面易脱离对焦范围的问题。

主权项:1.一种显微镜自动对焦装置,其特征在于,包括:自动对焦机构,利用从物镜一侧入射区域进入的入射光束,经物镜聚焦于待测样品表面,再通过待测样品表面反射,并穿过物镜另一侧的反射区域得到反射光束,反射光束经过原检焦透镜会聚至自动对焦传感器感光面形成激光图像,以计算物镜焦点与待测样品表面的离焦量,调整物镜高度,使物镜焦点位于待测样品表面;其中,当物镜焦点未落在待测样品表面上时产生的反射光束,部分脱离了物镜另一侧的反射区域,使反射光束未全部穿过物镜,造成自动对焦传感器感光面上形成的激光图像灰度平均值降低至阈值以下,从而无法计算离焦量;变焦机构,位于自动对焦传感器前侧,替换自动对焦机构中的原检焦透镜,用于通过提高变焦机构的焦距,使变焦机构的放大倍率降低,从而缩小反射光束入射至自动对焦传感器上的激光图像,使离焦光束更集中,导致单位面积内光通量增大,使激光图像的亮度更高,以使自动对焦传感器感光面上的激光图像的灰度平均值大于阈值,此时,通过自动对焦传感器上的激光图像对应的图像信号提取有效信息,以进行质心计算,从而获取物镜焦点与待测样品表面的离焦量。

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