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一种洁净室 

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申请/专利权人:世源科技工程有限公司

摘要:本发明涉及生产厂房技术领域,公开了一种洁净室,包括由上到下依次设置的上技术夹层、洁净生产层、下技术夹层和回风夹道,其中,洁净生产层和下技术夹层之间通过支撑件和设置于支撑件上的活动地板分隔,活动地板由设置有开孔的活动板和未设置开孔的固定板拼接而成,活动地板包括由靠近回风夹道一侧向远离回风夹道一侧排列的多个子区域,各子区域内的活动板上设置有多个开孔,且每个子区域内的活动地板的的有效开孔率满足有效开孔率N计算公式;该洁净室的活动地板包括不同的子区域,且各子区域内的活动地板的有效开孔率满足有效开孔率N计算公式,从而实现了洁净生产层内的气流调节、且成本低。

主权项:1.一种洁净室,其特征在于,包括由上到下依次设置的上技术夹层、洁净生产层、下技术夹层,还包括连通上技术夹层及下技术夹层的回风夹道,其中,洁净生产层和下技术夹层之间通过支撑件和设置于所述支撑件上的活动地板分隔,所述活动地板由设置有开孔的活动板和未设置开孔的固定板拼接而成,所述活动地板包括由靠近回风夹道一侧向远离回风夹道一侧排列的多个子区域,各所述子区域内的活动板上设置有多个开孔,且每个所述子区域内的活动地板的有效开孔率N的计算公式为: N:洁净室在当前子区域内的活动地板的有效开孔率%;F:当前子区域内总循环空气量m3h;A:当前子区域内的活动地板总面积m2;B:当前子区域内的设备基础面积m2;C:当前子区域内的工艺设备底座遮挡通风面积m2;V:人为设定的活动板上的开孔口断面风速ms;每个所述子区域内的活动地板的总开孔率D的计算公式为: D:洁净室在当前子区域内的活动地板的总开孔率m2;N:洁净室在当前子区域内的活动地板的有效开孔率%;A:当前子区域内的活动地板总面积m2;B:当前子区域内的设备基础面积m2;C:当前子区域内的工艺设备底座遮挡通风面积m2;在上技术夹层中的出风口均匀布置且每个出风口风量相同的情况下,距离所述回风夹道越远的子区域内的所述活动地板的总开孔率越大以使所述洁净生产层内的气流均匀;所述洁净室还包括设置于所述下技术夹层内靠近所述活动地板一侧的风量调节阀;所述支撑件为华夫板或隔构梁或奇式桶。

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