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申请/专利权人：深圳国技仪器有限公司

摘要：本发明公开了一种宽量程流量大小自动精密调节装置，连接在气泵上，用于自动调节气体流量大小，包括：电机、调速组件及调节装置，所述电机通过所述调速组件驱动所述调节装置进行调节，所述调节装置包括：轴套及轴芯，所述轴套内部设有圆形凹槽，从所述气泵输出的气体可注入所述圆形凹槽，所述轴芯可进入所述圆形凹槽内部，且贯穿所述轴套的外壁与所述圆形凹槽设有多个孔洞，所述调节装置通过所述轴芯进入所述圆形凹槽内的幅度大小，以调节让气体流入或流出的所述孔洞的数量。本发明是一种流量稳定、量程宽、实现无极调节的流量大小自动调节装置。

主权项：1.一种宽量程流量大小自动精密调节装置，连接在气泵上，用于自动调节气体流量大小，包括：电机、调速组件及调节装置，所述电机通过所述调速组件驱动所述调节装置进行调节，其特征在于，所述调节装置包括：轴套及轴芯，所述轴套内部设有圆形凹槽，从所述气泵输出的气体可注入所述圆形凹槽，所述轴芯可进入所述圆形凹槽内部，且贯穿所述轴套的外壁与所述圆形凹槽设有多个孔洞，所述调节装置通过所述轴芯进入所述圆形凹槽内的幅度大小，以调节让气体流入或流出的所述孔洞的数量，所述轴芯包括旋转内轴芯和伸缩轴芯，所述旋转内轴芯一端与所述调速组件的输出轴连接，另一端设有一凸起，所述伸缩轴芯一端为空心结构，且包括第一外轴芯及第二外轴芯，所述第一外轴芯与第二外轴芯的连接面为两形状互补的第一斜面及第二斜面，且在所述第一斜面及第二斜面上分别开设有第一椭圆形凹槽及第二椭圆形凹槽，且所述第一斜面与第二斜面相互连接时，所述第一椭圆形凹槽与第二椭圆形凹槽相互对接形成一封闭的椭圆形轨道，所述旋转内轴芯具有凸起的一端进入所述伸缩轴芯的空心结构内部，且所述凸起限制在所述椭圆形轨道内，所述旋转内轴芯旋转时，所述凸起在所述椭圆形轨道内运动，以驱动所述伸缩轴芯前进或后退；所述气泵设有一气槽，所述轴套进入所述气槽内部，且所述气槽对应所述多个孔洞设有多个气体通道，所述多个孔洞和所述多个气体通道一一对应地对接；所述轴套设有一常开气孔，且所述气槽对应所述常开气孔设有向外界排出的通道；以及还包括用于位置检测的霍尔元件，所述轴套的外壁设有安装槽，所述霍尔元件设于所述安装槽内，并用于检测所述伸缩轴芯的位移信息。

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