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申请/专利权人：株洲火炬安泰新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用，属于ITO靶材技术领域，包括以下步骤：S1、将Y掺杂ITO粉体和去离子水混合，加入可溶性淀粉，分散0.5‑3h后，加入羧甲基纤维素基粘结剂进行砂磨，砂磨合格后得到混合浆料，冷冻干燥，得到前驱体粉末；S2、将前驱体粉末装入模具中成型，再冷等静压成型，得到Y掺杂ITO靶坯；S3、将Y掺杂ITO靶坯转移至烧结炉中，在混合气氛下，按照速度1‑2℃min升温至120‑250℃下，保温1‑2h后，升温至1400‑1600℃，保温5‑18h，之后降至室温，即得所述Y掺杂ITO靶材，具有高密度特点和高电子迁移率，在太阳能电池制造中具有极大的应用价值。
主权项：1.一种Y掺杂ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将Y掺杂ITO粉体和去离子水混合，加入可溶性淀粉，分散0.5-3h后，加入羧甲基纤维素基粘结剂进行砂磨，砂磨合格后得到混合浆料，冷冻干燥，得到前驱体粉末；S2、将前驱体粉末装入模具中成型，再冷等静压成型，得到Y掺杂ITO靶坯；S3、将Y掺杂ITO靶坯转移至烧结炉中，在混合气氛下，按照速度1-2℃min升温至120-250℃下，保温1-2h后，按照速度1℃min升温至1400-1600℃，保温5-18h，之后按照降温速度1℃min降至室温，即得所述Y掺杂ITO靶材；所述羧甲基纤维素基粘结剂通过以下步骤获得：将羧甲基纤维素钠置于去离子水中，搅拌溶解后加入高碘酸钠溶液，之后调节pH至3，避光条件下，加热至40℃搅拌反应2h，将反应产物倒入无水乙醇中，过滤，收集滤饼并用去离子水和无水乙醇交替洗涤滤饼，最后在40℃下干燥至恒重，研磨过200目筛即可；羧甲基纤维素钠、去离子水和高碘酸钠溶液的用量比为2.0g：40mL：10-15mL，高碘酸钠溶液的浓度为0.11gL，调节pH时采用浓度5molL的硫酸溶液和1molL的氢氧化钠溶液。
全文数据：
权利要求：
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