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申请/专利权人：无锡芯享信息科技有限公司

摘要：本发明涉及光罩智能盒货柜技术领域，用于解决现有的光罩盒货柜无法精确的提供光罩盒的存储为光罩盒提供稳定及精准的定位存储和查询、光罩盒取出时货柜内部惰性气体大量流失的问题，具体为一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜及其管理系统，本发明通过封隔板对待取走光罩盒位置处空间的封隔，后再风扇的作用下将封隔空间内部的惰性气体向相邻空间进行传输，使进行光罩盒的取出时，不会造成货柜内部惰性气体的大量流失，通过将分层板上各个货位模组上的调节传输带同步进行转动传输，使调节传输带上的嵌合槽调节至货柜前方，便于工作人员进行光罩盒的安装；通过服务端提供实时的光罩盒状态和位置信息，方便使用时快速查找。

主权项：1.一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，包括货柜本体（1），所述货柜本体（1）外侧壁一侧通过机械臂安装有工控机（2），其特征在于，所述货柜本体（1）内侧壁连接有若干个均匀分布的分层板（12），所述分层板（12）上表面通过货位模组连接有若干个均匀分布的货位模组（3）；所述货位模组（3）包括主控制芯片及与主控制芯片通信连接的RFID读卡模块、电磁锁（7）和行程开关；其中，RFID读卡模块用于读取光罩盒的RFID号码并将其传输至主控制芯片，主控制芯片接收到光罩盒的RFID号码后将其发送至工控机（2）；所述主控制芯片还用于接收工控机（2）发送的入库指令和出库指令并处理，具体处理过程为：当接收到入库指令后，将光罩盒正确放入货位，触发行程开关，同时行程开关生成触发指令并反馈至主控制芯片，主控制芯片控制RFID读卡模块进行信息读取，读取成功后，控制绿色对应的LED灯（63）亮，并将读取的数据发送至工控机（2）；当接收到出库指令后，主控制芯片控制对应电磁锁（7）进行解锁对应的LED灯（63）变为绿色闪烁状态，取出光罩盒后，控制LED灯（63）由绿色变为黄色，当LED灯（63）入库或出库失败时，主控制芯片控制LED灯（63）由绿色变为红色并生成出入库失败日志并反馈到工控机（2）内；所述工控机（2）与服务端通信连接并进行数据传输；所述分层板（12）对应若干个所述货位模组（3）下方均连接有拼接板（42），所述拼接板（42）上表面靠近外壳（5）两侧连接有滑动框架（41），所述滑动框架（41）内部下表面开设有若干个均匀分布的嵌合齿槽（43），所述拼接板（42）前端连接有封堵板（48），所述封堵板（48）前表面两侧对应所述滑动框架（41）位置处开设有孔洞，孔洞内侧壁通过铰链转动连接有转动门二（47），所述滑动框架（41）内侧壁对应所述转动门二（47）位置处开设有转门槽（49）；所述滑动框架（41）外侧壁一侧对应所述转动门二（47）位置处设有封隔板（44），所述封隔板（44）外侧壁中间位置处开设有滑板槽（410），所述滑板槽（410）内侧滑动连接有活动板（45），所述活动板（45）上下表面均一体成型有限位滑板（46），所述封隔板（44）外侧壁远离所述活动板（45）位置处开设有通风孔，通风孔内部连接有风扇（412），所述风扇（412）扇叶转轴上连接有第一传动转轮（413），通风孔内部下表面对应第一传动转轮（413）位置处开设有空腔（414），所述空腔（414）内部转动连接有转动齿轮一（415），所述转动齿轮一（415）连接转轴上连接有第二传动转轮，两个所述传动转轮通过传动带（411）传动连接，所述活动板（45）下方的限位滑板（46）位置处连接有软齿条，所述空腔（414）内部对应软齿条位置处转动连接有转动齿轮二；封隔板（44）在滑动框架（41）内侧进行滑动的过程中，封隔板（44）下方的转动齿轮一（415）与嵌合齿槽（43）相互嵌合并带动转动齿轮一（415）进行转动，使两侧封隔板（44）在插入时，通过风扇（412）的转动将待取走光罩盒位置处的惰性气体向相邻空间进行传输，封隔板（44）与滑动框架（41）紧密贴合后，工作人员快速进行活动板（45）的插入，活动板（45）插入过程中，通过软齿条带动与第二传动转轮相互传动的转动齿轮二转动，转动齿轮二的转动方向与转动齿轮一（415）的转动方向相同，使风扇（412）在软齿条的作用下继续转动。

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