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申请/专利权人：华芯拓远(天津)科技有限公司

摘要：本发明公开了隔振组合梁结构及其低应力MEMS加速度计，其结构包括：外部类环形隔离机构、内部矩形环双环嵌套机构、左固定梳齿锚点双环嵌套机构和右固定梳齿锚点双环嵌套机构；该加速度计包括：衬底层和器件层、器件层包括上述的隔振组合梁结构、至少两个可动质量块、左检测电级单元和右检测电级单元；解决MEMS加速度计在工艺制造环节、封装贴片环节等引入的残余应力、热应力对器件温度灵敏度的影响，提升了加速度计全温特性指标；实现MEMS加速度计对周围环境解耦，有效地抑制环境冲击、振动对器件测量精度的影响，使加速度计输出更加稳定；降低加速度计器件振动整流误差值，有效地降低导航载体对于额外减震设计的依赖程度，并有利于提高器件导航精准度。

主权项：1.隔振组合梁结构，其特征在于：该结构包括：外部类环形隔离机构（2）和内部矩形环双环嵌套机构（3），共同作用于对外界环境振动、冲击和残余热应力进行有效的减震、隔离和释放；左固定梳齿锚点双环嵌套机构（4）和右固定梳齿锚点双环嵌套机构（5），用于对衬底层（1）引入的热应力进行隔离、释放，抑制封装贴片的热应力对相对应的固定梳齿电极的影响；其中，内部矩形环双环嵌套机构（3）位于外部类环形隔离机构（2）形成的内部；左固定梳齿锚点双环嵌套机构（4）和右固定梳齿锚点双环嵌套机构（5）结构相同，关于该结构的竖向中心线左右对称；内部矩形环双环嵌套机构（3）、外部类环形隔离机构（2）、左固定梳齿锚点双环嵌套机构（4）和右固定梳齿锚点双环嵌套机构（5）均安装于衬底层（1）上；所述外部类环形隔离机构（2）包括：至少八组外环折叠梁（201），八组所述外环折叠梁（201）首尾相连，形成矩形折叠框；矩形折叠框通过外层固定锚定（202）锚定其四个顶角安装在衬底层（1）上；至少四根内侧双端固支梁（203），且两两对称于矩形折叠框中心部位；至少两根外侧双端固支梁（204），其位于矩形折叠框框内的左右两侧；其中，每根内侧双端固支梁（203）一端与内部矩形环双环嵌套机构（3）相连；每根外侧双端固支梁（204）的一端与矩形折叠框相连；所述内部矩形环双环嵌套机构（3）包括：内层固定锚点（301），其用于将内部矩形环双环嵌套机构（3）固定安装衬底层（1）上；内层第一隔离矩形环（302），其外套于内层固定锚点（301）的外部；至少四个内层第一隔离短梁（303），其用于连接内层固定锚点（301）和内层第一隔离矩形环（302）的四角；内层第二隔离矩形环（304），其外套于内层第一隔离矩形环（302）的外部；至少四个内层第二隔离短梁（305），用于连接内层第一隔离矩形环（302）和内层第二隔离矩形环（304）的四角；其中，内层第二隔离矩形环（304）的外框与每根内侧双端固支梁（203）的一端相连；所述左固定梳齿锚点双环嵌套机构（4）包括：左固定梳齿锚点（401），其用于将左固定梳齿锚点双环嵌套机构（4）固定安装衬底层（1）上；左固定梳齿第一隔离矩形环（402），其外套于左固定梳齿锚点（401）的外部；至少四个左固定梳齿第一隔离短梁（403），其用于连接左固定梳齿锚点（401）和左固定梳齿第一隔离矩形环（402）的四角；左固定梳齿第二隔离矩形环（404），其外套于左固定梳齿第一隔离矩形环（402）的外部；至少四个左固定梳齿第二隔离短梁（405），用于连接左固定梳齿第一隔离矩形环（402）和左固定梳齿第二隔离矩形环（404）的四角；其中，左固定梳齿第二隔离矩形环（404）的外框与MEMS加速度计的左固定梳齿相连。

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