买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

摘要：本发明公开了一种射频变压器、电离组件及等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域。其中，射频变压器包括初级线圈，以及与初级线圈相耦合且同轴设置的次级线圈；初级线圈用于接入外部射频电源或外部阻抗匹配器，并通过互感在次级线圈中产生感应电势；初级线圈与次级线圈由中空金属管绕制而成，内部可通过循环冷却水进行冷却。在电离组件和等离子体产生装置中，该射频变压器用于周期性变换第一电极和第二电极的极性，以使第一电极和第二电极之间产生射频电场，用于将工艺气体电离为等离子体。本发明提供的射频变压器悬空不接地，且线圈内部中空可供水冷循环，提升了系统的安全性和稳定性。

主权项：1.一种射频变压器，应用于等离子体产生装置，其特征在于，包括：安装座；初级线圈，设于所述安装座；次级线圈，设于所述安装座，所述次级线圈与所述初级线圈同轴设置且相耦合，所述次级线圈与所述初级线圈沿同一轴线间隔设置，所述初级线圈和所述次级线圈由所述安装座支撑构成悬空；所述初级线圈用于接入外部射频电源或外部阻抗匹配器，并通过互感在所述次级线圈中产生感应电势；所述射频变压器还包括：射频接口，与所述初级线圈电连接，所述初级线圈通过所述射频接口接入外部射频电源或外部阻抗匹配器；电容器，与所述初级线圈电连接，用于储能和滤波；所述初级线圈采用中空金属管绕制而成；所述次级线圈采用中空金属管绕制而成；所述初级线圈的两端分别设有第一连接管口和第二连接管口；所述第一连接管口和所述第二连接管口用于接入外部液冷循环系统；所述次级线圈的两端分别设有第三连接管口和第四连接管口；所述第三连接管口和所述第四连接管口用于接入外部液冷循环系统；所述初级线圈还包括：第一连接件，靠近所述第一连接管口设置，用于与所述射频接口电连接；第二连接件，靠近所述第二连接管口设置，用于与所述电容器电连接；和或，所述次级线圈还包括：第三连接件，靠近所述第三连接管口设置，用于与外部电极组件电连接；第四连接件，靠近所述第四连接管口设置，用于与外部电极组件电连接；所述第一连接件通过第五连接件与所述射频接口电连接，所述第二连接件通过第六连接件与所述电容器电连接；所述第五连接件和所述第六连接件分别具有多个弯折部，以调整所述初级线圈与所述射频接口、所述电容器的连接配合方位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 射频变压器、电离组件及等离子体产生装置