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申请/专利权人：江苏龙恒新能源有限公司
摘要：本实用新型公开了炉管用抽气装置，包括炉管本体，所述炉管本体上设置有主进气口、主抽气口和炉门，所述炉管本体内设置有进气组件和抽气组件，所述进气组件包括进气管，所述进气管上开设有若干个第一分进气口，所述第一分进气口的方向朝着炉门，所述抽气组件包括连接件，所述连接件上固定连接有若干个抽气管，所述抽气管上开设有若干个分抽气口，所述分抽气口的方向与第一分进气口的方向不平行，所述进气管远离炉门的方向固定连接有分进气管。与现有技术相比，根据本实用新型的炉管用抽气装置，其能够使炉管内部混合气体的浓度一致，使混合气体均匀的经过硅片，最大程度的使硅片表面形成多晶硅的薄膜的厚度一致。
主权项：1.炉管用抽气装置，包括炉管本体1，所述炉管本体1上设置有主进气口11、主抽气口12和炉门13，所述炉管本体1内设置有进气组件2和抽气组件3，所述进气组件2包括进气管21，所述进气管21上开设有若干个第一分进气口211，其特征在于；所述第一分进气口211的方向朝着炉门13，所述抽气组件3包括连接件31，所述连接件31上固定连接有若干个抽气管32，所述抽气管32上开设有若干个分抽气口33，所述分抽气口33的方向与第一分进气口211的方向不平行。
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权利要求：
百度查询： 江苏龙恒新能源有限公司 炉管用抽气装置
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