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申请/专利权人：芜湖义柏载具精密技术有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于晶圆存储盒的进气扩散装置，包括盒体，盒体包括进气口、气道主体以及气阀，进气口开设在盒体的壳壁上，并将壳壁贯穿，气道主体设置在盒体内，气阀设置在进气口处，并与气道主体连接，气体可经气阀传输至气道主体，以进入盒体内，通过上述结构设置，因本实用新型设置有进气口、气道主体以及气阀，以构成一进气系统，进气系统可将惰性气体冲入盒体内，以将盒体内的氧气和水分排出，避免了晶圆的氧化，提高了晶圆的保存质量，结构简单，操作便捷。
主权项：1.一种用于晶圆存储盒的进气扩散装置，包括盒体1，其特征在于，所述盒体1包括进气口11、气道主体2以及气阀3，所述进气口11开设在所述盒体1的壳壁上，并将所述壳壁贯穿，所述气道主体2设置在所述盒体1内，所述气阀3设置在所述进气口11处，并与所述气道主体2连接，气体可经所述气阀3传输至所述气道主体2，以进入至所述盒体1内。
全文数据：
权利要求：
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