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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种角度校准调节机构，包括：基座和安装于基座一端下方的调节电机，调节电机的输出轴竖直向上延伸并与一设置于基座上方的转盘连接，转盘内开设有一腔体，用于与晶圆的下表面搭接接触的转盘的上表面开设有若干个各自与腔体连通的真空吸附孔，一真空发生器通过管路与腔体连通，基座另一端的上表面并位于转盘的外侧安装有至少一个传感器，晶圆上形成有与传感器对应的缺口，传感器与调节电机、真空发生器电连接。本实用新型可以实现对晶圆位置的自动检测识别，并通过转盘的旋转对晶圆进行周向上的角度调节，改善晶圆的位置精度，还可以有效避免晶圆转动过程中产生额外的位置偏移，进一步保证经过角度调节后晶圆的位置精度。
主权项：1.一种角度校准调节机构，包括：基座（4）和安装于基座（4）一端下方的调节电机（1），其特征在于：调节电机（1）的输出轴竖直向上延伸并与一设置于基座（4）上方的转盘（2）连接，转盘（2）内开设有一腔体（21），用于与晶圆（100）的下表面搭接接触的转盘（2）的上表面开设有若干个各自与腔体（21）连通的真空吸附孔（22），一真空发生器通过管路（23）与腔体（21）连通，基座（4）另一端的上表面并位于转盘（2）的外侧安装有至少一个传感器（3），晶圆（100）上形成有与传感器（3）对应的缺口（101），传感器（3）与调节电机（1）、真空发生器电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 角度校准调节机构
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