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一种芯片拼板的植球治具 

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申请/专利权人:地球山(苏州)微电子科技有限公司

摘要:本申请公开一种芯片拼板的植球治具,涉及半导体生产技术领域。其包括:基座,基座的上侧表面为承载面,基座设置有镂空孔和围绕镂空孔设置的第一定位沉台,第一定位沉台用于承载芯片拼板,且第一定位沉台上设置有多个第一定位凸起;盖板,盖板包括边框和位于边框内部的网板,边框的内侧边缘设置有用于承载网板的第二定位沉台,网板的植球区域具有多个通孔,边框上具有第二定位凸起配合的定位孔,盖板置于基座的承载面后,网板能够与第一定位沉台上的芯片拼板相对。利用基座对芯片拼板和盖板定位,提高了芯片拼板和网板的对位精度,从而提高了产品良率;此外植球过程中焊接球直接经通孔落至焊盘区域,与手工植球相比,提高了植球速度和效率。

主权项:1.一种芯片拼板的植球治具,其特征在于,包括:基座,所述基座的上侧表面为承载面,所述基座设置有镂空孔和围绕所述镂空孔设置的第一定位沉台,所述第一定位沉台的台面低于所述基座的承载面,所述第一定位沉台用于承载芯片拼板,且所述第一定位沉台上设置有多个第一定位凸起;所述承载面上设置有多个第二定位凸起;盖板,所述盖板包括边框和位于所述边框内部的网板,所述边框的内侧边缘设置有用于承载网板的第二定位沉台,所述网板的植球区域具有多个通孔,所述边框上具有所述第二定位凸起配合的定位孔,所述盖板置于所述基座的承载面后,所述网板能够与第一定位沉台上的芯片拼板相对。

全文数据:

权利要求:

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