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申请/专利权人：星奇(上海)半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种利用PIV法检测液体汽化器汽化效果的检测方法，包括：将液体汽化器安装在测试系统的管路上；打开第一手动隔膜阀，利用载气罐中的载气去除管道中的空气；通过温控器控制液体汽化器的混合部140℃、汽化部200℃加热；打开液体质量流量计电源，使压电阀处于关闭状态；打开气体质量流量控制器电源，控制进入液体汽化器的载气流量为10SLM；开启PIV系统，检测液体汽化器出口的雾化状态。通过PIV法测量液体汽化器出口不同粒径的液滴数量来判断汽化效果，具有可实时测试液体汽化器出口全流场，而非局部采样，保证检测范围广、检测精度高的有益效果。
主权项：1.一种利用PIV法检测液体汽化器汽化效果的检测方法，其特征在于，包括如下检测步骤：步骤1、将液体汽化器1安装在测试系统的管路上；步骤2、打开第一手动隔膜阀2，利用载气罐3中的载气对管路平台进行循环吹扫清洗去除管道中的空气，然后关闭第一手动隔膜阀2；步骤3、通过温控器4控制液体汽化器1的混合部140℃、汽化部200℃加热，达到设置温度后稳定30min保证充分加热；步骤4、打开液体质量流量计5电源，给液体汽化器1的压电阀输入强制关闭信号，使压电阀处于关闭状态；步骤5、打开气体质量流量控制器6电源，控制进入液体汽化器1的载气流量为10SLM；步骤6、打开所述第一手动隔膜阀2、第二手动隔膜阀7、第三手动隔膜阀8，并打开所述液体汽化器1的气控阀，使得载气罐3的载气一路进入到所述液体汽化器1的载气入口，另一路载气进入到液罐9以将其内部的液体压送至所述液体汽化器1的液体入口；步骤7、开启PIV系统10，检测液体汽化器1出口的雾化状态，并在控制终端11上实时显示；步骤8、通过液体质量流量计5控制打开液体汽化器1的压电阀至20％S.F.、40％S.F.、60％S.F.、80％S.F.、100％S.F.，并分别记录对应的PIV系统检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星奇(上海)半导体有限公司 一种利用PIV法检测液体汽化器汽化效果的检测方法
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