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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明提供一种光学式位移计。抑制因由于使投光系统部件和受光系统部件旋转而产生的来自工件表面的镜面反射光带来的影响。基于三角测距的原理对在Z方向上具有高度的工件的截面轮廓进行测定，具备：投光受光模块，其具有照射沿X方向延展的狭缝光的投光部、使狭缝光被工件反射而得到的反射光会聚的受光透镜、接收通过受光透镜被会聚后的光的摄像部；马达，其使投光受光模块一体地旋转；以及控制部，其控制马达来使狭缝光在与X方向正交的方向上进行扫描，投光受光模块的旋转角度被限制，使得在投光部对具有与沿X方向和Y方向延展的X‑Y平面平行的镜面反射面的工件照射了狭缝光的情况下，从镜面反射面反射得到的镜面反射光不被摄像部拍摄到。
主权项：1.一种光学式位移计，是基于三角测距的原理对在Z方向上具有高度的工件的截面轮廓进行测定的光切式的光学式位移计，所述光学式位移计具备：投光受光模块，其具有照射沿X方向延展的狭缝光的投光部、使所述狭缝光被工件反射而得到的反射光会聚的受光透镜、以及接收通过所述受光透镜被会聚后的光的摄像部；马达，其使所述投光受光模块一体地旋转；以及控制部，其控制所述马达，来使所述狭缝光在与所述X方向正交的方向上进行扫描，其中，所述投光受光模块的旋转角度被限制，使得在所述投光部对具有与沿所述X方向和Y方向延展的X-Y平面平行的镜面反射面的所述工件照射了所述狭缝光的情况下，从所述镜面反射面反射得到的镜面反射光不被所述摄像部拍摄到，其中，所述Y方向与所述X方向正交。
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