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申请/专利权人：河南新国玺半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种无黄烟的高纯铜板清洗工艺。上述清洗工艺包括以下步骤：S1提供高纯铜板，提供硝酸和过氧化氢。S2使用腐蚀清洗液对高纯铜板进行腐蚀清洗，所述腐蚀清洗的反应为Cu+2HNO3（稀）+H2O3=CuNO32+2H2O。S3从腐蚀清洗液中取出高纯铜板，静置直至氧化变色，所述氧化变色的反应为Cu+H2O2=CuO+H2O。S4使用光亮酸洗液对氧化变色后的高纯铜板进行酸洗，所述酸洗的反应为CuO+2HNO3（稀）=CuNO32+H2O。S5依次对经酸洗后的高纯铜板进行清洗、烘干和降温干燥处理，包装入库。S6废气处理后达标排放。本发明的工艺，可满足高纯铜板清洗的纯度和外观质量的要求的同时，清洗过程绿色无污染，不会产生氮氧化物黄烟，清洗全程只有氧气产生，废气处理较为方便且成本低廉。
主权项：1.一种无黄烟的高纯铜板清洗工艺，其特征在于，其包括以下步骤：S1提供高纯铜板，提供硝酸和过氧化氢；S2使用腐蚀清洗液对高纯铜板进行腐蚀清洗；S3从腐蚀清洗液中取出高纯铜板，静置直至氧化变色；S4使用光亮酸洗液对氧化变色后的高纯铜板进行酸洗；S5依次对经酸洗后的高纯铜板进行清洗、烘干和降温干燥处理，包装入库；S6废气处理后达标排放。
全文数据：
权利要求：
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