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申请/专利权人:索尼半导体解决方案公司
摘要:根据本发明实施方案的第一光电检测器设置有:半导体基板,其具有彼此相对的第一表面和第二表面,并且其上多个像素布置成阵列;一个或多个晶体管,其设置在所述像素内的所述半导体基板的所述第一表面上;以及第一隔离沟槽,所述第一隔离沟槽设置在所述半导体基板中以隔离所述多个像素中相邻的像素,并且在平面图中邻接所述一个或多个晶体管的源极区域和漏极区域中的至少一者。
主权项:1.一种光电检测器,包括:半导体基板,其具有彼此相对的第一表面和第二表面,并且包括布置成阵列的多个像素;一个或多个晶体管,其设置在所述像素内的所述半导体基板的所述第一表面上;以及第一隔离沟槽,其设置在所述半导体基板中,并且将彼此相邻的所述多个像素彼此分隔,并且在平面图中所述第一隔离沟槽与所述一个或多个晶体管的源极区域和漏极区域中的至少一者接触。
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权利要求:
百度查询: 索尼半导体解决方案公司 光电检测器和光电检测器的制造方法
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