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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本申请提出一种材料生长参数的调整系统及方法，包括：数据获取模块，用于获取生长参数对应的第一参数值及原位表征数据；处理模块，用于根据正在生长材料的目标类型及目标生长阶段，从通过可扩充模型接口与调整系统连接的参数获取模型中确定目标参数获取模型；模型调用模块，用于通过可扩充模型接口，将第一参数值及原位表征数据中的至少一项输入至目标参数预测模型，获取输出结果；模型数据再处理模块，用于根据输出结果确定生长参数对应的第二参数值；参数调整模块用于基于第二参数值，对生成参数对应的参数值进行调整。降低调整系统的处理数据量，避免系统卡顿，提高数据处理效率，进而提高对生长参数控制的及时性，提高材料生长质量和良品率。
主权项：1.一种材料生长参数的调整系统，其特征在于，包括：数据获取模块、处理模块、模型调用模块、模型数据再处理模块、参数调整模块、可扩充模型接口；其中，所述数据获取模块，用于获取材料生长设备中生长参数对应的第一参数值、原位表征设备采集的正在生长材料对应的原位表征数据；所述处理模块，用于根据所述正在生长材料的目标类型及目标生长阶段，从多个参数获取模型中确定目标参数获取模型，其中，所述参数获取模型通过所述可扩充模型接口与所述调整系统连接；所述模型调用模块，用于通过所述目标参数获取模型对应的可扩充模型接口，将所述第一参数值及所述原位表征数据中的至少一项，输入至所述目标参数获取模型，并获取所述目标参数获取模型的输出结果；所述模型数据再处理模块，用于根据所述输出结果，确定所述生长参数对应的第二参数值；所述参数调整模块，用于基于所述的第二参数值，对所述生成参数对应的参数值进行调整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 材料生长参数的调整系统及方法
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