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舟托运输系统、处理系统和舟托运输方法 

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申请/专利权人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司

摘要:本公开涉及半导体或光伏材料技术领域,具体涉及一种舟托运输系统、处理系统和舟托运输方法,解决了由于悬臂桨容易变形,导致悬臂桨承载的舟托无法精准地进出反应炉,舟托运输精度低的问题。该舟托运输系统包括炉外轨道、运输轨道、推舟装置、缓存装置和搬舟装置。炉内轨道、炉外轨道和运输轨道用于承载舟托,推舟装置在炉内轨道、炉外轨道和运输轨道之间运输舟托,搬舟装置在炉外轨道和缓存装置之间运输舟托,实现了舟托的自动化运输,取代了悬臂桨结构承载和运输舟托,避免了由于悬臂桨变形导致的舟托在被运输的过程中产生偏移,使舟托能够被精准地送入或送出反应炉,提高了自动化运输的精度。

主权项:1.一种舟托运输系统,其特征在于,应用于至少一个反应炉,所述反应炉具有反应腔和设置于所述反应腔内的炉内轨道,所述炉内轨道被配置为承载舟托;其中,所述舟托运输系统包括:炉外轨道,所述炉外轨道的第一端能够与所述炉内轨道的一端对接,所述炉外轨道被配置为承载所述舟托;至少一组运输轨道,所述运输轨道的一端能够与所述炉外轨道的第二端对接,所述运输轨道被配置为承载所述舟托;推舟装置,被配置为驱动所述舟托沿所述炉外轨道的延伸方向运动;缓存装置,与所述炉外轨道相邻设置,被配置为缓存所述舟托;搬舟装置,被配置为将所述舟托由所述炉外轨道搬运至所述缓存装置,或者将所述舟托由所述缓存装置搬运至所述炉外轨道;其中,在所述炉外轨道的第一端与所述炉内轨道的一端对接的情况下,所述推舟装置驱动所述舟托由所述炉外轨道运动至所述炉内轨道,或者由所述炉内轨道运动至所述炉外轨道;其中,在所述运输轨道的一端与所述炉外轨道的第二端对接的情况下,所述推舟装置驱动所述舟托由所述炉外轨道运动至所述运输轨道,或者由所述运输轨道运动至所述炉外轨道。

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权利要求:

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