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申请/专利权人：长江先进存储产业创新中心有限责任公司
摘要：一种微机电系统MEMS压力传感器100，包括：隔膜104；以及压力传感元件106，所述压力传感元件106位于所述隔膜104上并且具有相变材料。所述相变材料的电阻率随着施加到所述隔膜104的压力的变化而变化。一种压力传感装置，包括：微机电系统MEMS压力传感器，其包括：隔膜104；压力传感元件106，所述压力传感元件106位于所述隔膜104上并且具有相变材料；状态设置元件504；电阻测量元件506；逻辑芯片502，所述逻辑芯片502包括设置电路508和测量电路510。一种用于形成微机电系统MEMS压力传感器100的方法。
主权项：1.一种微机电系统MEMS压力传感器，包括：隔膜；以及压力传感元件，所述压力传感元件位于所述隔膜上并且具有相变材料，其中，所述相变材料的电阻率随着施加到所述隔膜的压力的变化而变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 带有含相变材料的压力传感元件的微机电系统压力传感器
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