龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，其包含：真空反应腔，其内有可升降下电极组件，真空反应腔底壁设有射频屏蔽基板；射频导杆，其顶端与下电极组件下方电连接；可伸缩密封组件，其沿射频导杆的轴向伸缩，且设在可升降下电极组件和真空反应腔底壁之间；屏蔽传动组件，采用金属制成，用于带动可升降下电极组件移动，其包括：传动杆，其顶端与可升降下电极组件固定连接；法兰盘，其无缝套设在传动杆上；可伸缩屏蔽件，其环绕传动杆的周向设置，顶端与法兰盘电连接，底端与射频屏蔽基板电连接。其优点是：屏蔽传动组件具备高抗拉强度、高螺纹硬度的特性，延长了传动杆的使用寿命，且实现了射频屏蔽，有效防止射频泄露造成的设备损伤。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包含：真空反应腔，其内部设置有可升降下电极组件，所述真空反应腔底壁设置有射频屏蔽基板；射频导杆，其顶端与所述下电极组件下方电连接；可伸缩密封组件，其沿所述射频导杆的轴向上下伸缩，且设置在所述可升降下电极组件和所述真空反应腔底壁之间，将所述真空反应腔分隔成真空侧和大气侧；屏蔽传动组件，采用金属制成，用于带动所述可升降下电极组件移动，其包括：传动杆，其顶端与所述可升降下电极组件固定连接；法兰盘，其无缝套设在所述传动杆上；可伸缩屏蔽件，其环绕所述传动杆的周向设置，顶端与所述法兰盘电连接，底端与所述射频屏蔽基板电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种等离子体处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号