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申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明公开了一种柔性哈氏合金衬底多层结构反铁电薄膜的制备方法，涉及柔性电子材料制备工艺技术领域，该工艺方法的具体步骤为：S100，哈氏合金衬底的预处理：将哈氏合金衬底裁剪成合适的尺寸，用无水乙醇和去离子水超声清洗，烘干后放入马弗炉中进行热处理，改善其表面浸润性，本发明通过在柔性哈氏合金衬底与锆钛酸铅镧PLZT薄膜之间引入钴酸镧锶LSCO缓冲层，该方法有效地降低了薄膜与衬底之间的晶格失配和热膨胀失配，这种缓冲层能够缓解由于材料间晶格常数和热膨胀系数差异引起的应力，从而减少薄膜内部的缺陷，如裂纹和位错，提高了薄膜的整体性能和稳定性。
主权项：1.一种柔性哈氏合金衬底多层结构反铁电薄膜，其特征在于，所述反铁电薄膜的结构为：在哈氏合金和PLZT层之间设有LSCO层。
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权利要求：
百度查询： 上海大学 一种柔性哈氏合金衬底多层结构反铁电薄膜的制备方法
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