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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：一种带电粒子束源，所述带电粒子束源可包括发射器，所述发射器具有用于发射带电粒子的尖端；插座；电极；丝，所述丝连接到这些电极并且连接到所述发射器；用于向所述丝提供电信号的电极；支撑元件，所述支撑元件连接到所述发射器；和支撑结构，所述支撑结构包含一个或多个界面，所述界面用于在支撑所述支撑元件的同时仅接触所述支撑元件的一部分。
主权项：1.一种带电粒子束源，包含：陶瓷插座；第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极耦接到所述陶瓷插座并且彼此间隔开；发射器支持物，所述发射器支持物与所述陶瓷插座一体地形成并且设置在所述第一电极与所述第二电极之间，所述发射器支持物包含远离所述陶瓷插座朝向远端延伸的主体；发射器支撑元件，所述发射器支撑元件耦接到所述发射器支持物的所述远端；发射器，所述发射器耦接到所述发射器支撑元件并且包括用于发射带电粒子的尖端；丝，所述丝耦接到所述第一电极和所述第二电极并且耦接到所述发射器，其中所述第一电极和所述第二电极经配置以向所述丝提供电信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 带电粒子束源和用于组装带电粒子束源的方法
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