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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
摘要：本发明涉及低维器件领域，特别涉及一种低维例如准一维材料力学器件制备方法和装置，能够简便地、低成本地、高成功率地将低维材料转移到悬臂梁上，并利用制备的该力学器件磁场标定其磁各向异性以及净磁矩大小。本发明的低维材料力学器件制备方法包括准备步骤和半湿法转移步骤，在准备步骤中，准备好经过解理以及一次转移后的承载在样品衬底上的低维材料样品，在半湿法转移步骤，利用由微量进样器构成的浸润液注入部，以至少覆盖待转移的目标样品的方式在低维材料的对应区域注入浸润液，由此使样品极容易脱离衬底，接着，利用转移探针借助静电吸附作用从样品衬底上挑出规定尺寸、形状的目标样品。
主权项：1.一种低维材料力学器件制备方法，通过将低维材料样品转移至力学传感器上制备低维材料力学器件，其特征在于：包括准备步骤和半湿法转移步骤，其中，在所述准备步骤中，准备好经过解理以及一次转移后的承载于样品衬底上的低维材料，并准备好由微悬臂梁构成的所述力学传感器，所述半湿法转移步骤包括浸润液注入步骤、样品挑离步骤和二次转移步骤，在所述浸润液注入步骤中，从所述低维材料中选择待转移的目标样品，利用由微量进样器构成的浸润液注入部，以覆盖所述目标样品的方式在低维材料注入浸润液，在所述样品挑离步骤中，在所述浸润液已浸润所述目标样品的状态下，利用转移探针借助静电吸附作用从所述样品衬底上挑离出规定尺寸、形状的所述目标样品，在所述二次转移步骤中，将所述转移探针吸附的所述目标样品移动至所述微悬臂梁的样品配置区的上方进而降低所述转移探针的高度，使所述目标样品平贴在所述样品配置区。
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百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 低维材料力学器件制备方法和装置
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