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申请/专利权人：江苏汉印机电科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种衬底承载结构及其气相外延生长装置，涉及半导体制造技术领域，旨在解决衬底装卸费时费力的技术问题，包括基座，基座内部中空形成安装腔，基座顶端均匀布置有若干放置槽，放置槽上呈环形等间距结构布置有若干定位组件，安装腔内布置有若干调节机构，调节机构顶端与对应的若干定位组件活动连接，任意相邻两个调节机构啮合连接；放置槽中心位置开设有与安装腔相连通的滑孔，安装腔内相对若干滑孔位置布置有若干顶升机构，顶升机构顶端与滑孔活动连接，顶升机构顶端构成装卸平面，顶升机构与调节机构啮合连接；基座顶端布置有手动旋转机构，手动旋转机构底端与对应的调节机构固定连接。本发明具有衬底装卸省时省力的优点。

主权项：1.一种衬底承载结构，其特征在于，包括基座1，所述基座1内部中空形成安装腔11，所述基座1顶端均匀布置有若干放置槽12，所述放置槽12上呈环形等间距结构布置有若干定位组件2，所述安装腔11内相对若干所述放置槽12位置布置有若干调节机构3，所述调节机构3顶端与对应的若干所述定位组件2活动连接，任意相邻两个所述调节机构3啮合连接；所述放置槽12中心位置开设有与所述安装腔11相连通的滑孔13，所述安装腔11内相对若干所述滑孔13位置布置有若干顶升机构4，所述顶升机构4顶端与所述滑孔13活动连接，所述顶升机构4顶端构成装卸平面，所述顶升机构4与所述调节机构3啮合连接；所述基座1顶端相对其中一个所述调节机构3位置布置有手动旋转机构5，所述手动旋转机构5底端与对应的所述调节机构3固定连接；所述放置槽12上呈环形等间距结构开设有若干定位滑槽14，所述定位滑槽14底端连通设有向心滑槽15，所述向心滑槽15与所述安装腔11连通；所述定位组件2包括定位板21及向心滑块22，所述定位板21滑动设于所述定位滑槽14上，所述向心滑块22滑动设于所述向心滑槽15上，所述向心滑块22顶端与所述定位板21固定连接，所述向心滑块22底端固设有活动杆23；所述调节机构3包括环块A31，所述环块A31转动设于所述安装腔11上，所述环块A31顶端固设有调节圆板32，所述调节圆板32顶端相对对应的若干所述向心滑槽15位置开设有若干向心导槽33，所述活动杆23底端与所述向心导槽33活动连接，所述环块A31外缘面上固设有外齿环34，任意相邻两个所述外齿环34啮合连接，所述环块A31内缘面上固设有内齿环35。

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