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申请/专利权人：昆山协鑫光电材料有限公司
摘要：本发明公开了一种狭缝涂布模头装置和涂布机，所述狭缝涂布模头装置包括：涂布模头，所述涂布模头形成有出液口，所述出液口配置为喷出涂布溶剂；吸风模头，所述吸风模头形成有吸风流道，所述吸风流道在第一方向上迂回延伸，所述吸风流道内形成有储液区；其中，所述出液口喷出的部分涂布溶剂随气流进入吸风流道，所述涂布溶剂冷凝并存储于储液区。根据本发明的狭缝涂布模头装置，通过设置储液区避免了冷凝的溶剂滴落回产品表面，提高了产品的品质，避免吸风流道内的冷凝溶剂回流滴落至基板上，提高了成膜质量和成膜的均匀性，并且不需要扩大涂布机整体大小，也不需要占用涂布机额外的空间，节约了设备成本和空间成本。
主权项：1.一种狭缝涂布模头装置，其特征在于，包括：涂布模头，所述涂布模头形成有出液口，所述出液口配置为喷出涂布溶剂；吸风模头，所述吸风模头形成有吸风流道，所述吸风流道内形成有储液区；其中，所述出液口喷出的部分所述涂布溶剂随气流进入所述吸风流道，所述部分涂布溶剂冷凝并存储于所述储液区。
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