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申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(青海)晶硅有限公司
摘要：本发明提供了一种单晶炉以及控制单晶炉内有害气体和漂浮物的方法。单晶炉包括炉盖、炉筒、下炉筒和取样装置，所述取样装置包含设置在所述炉盖上的四个第一取样装置、设置在所述炉筒上的四个第二取样装置和设置在所述炉筒上的四个第三取样装置；所述取样装置用于对所述单晶炉内的气体和漂浮物进行取样以及对所述单晶炉进行抽空。本发明的单晶炉通过设置特定的取样装置，能够对单晶炉内的气体及漂浮物组分进行研究，进而实现更精确的工艺控制及针对性的热场设计及材料使用。
主权项：1.一种单晶炉，其特征在于，所述单晶炉包括炉盖、炉筒、下炉筒和取样装置，所述取样装置包含设置在所述炉盖上的四个第一取样装置、设置在所述炉筒上的四个第二取样装置和设置在所述炉筒上的四个第三取样装置；所述取样装置用于对所述单晶炉内的气体和漂浮物进行取样以及对所述单晶炉进行抽空；所述取样装置包括取样管，所述取样管用于将所述单晶炉内的气体和漂浮物排出至所述单晶炉外部；所述第一取样装置与所述炉盖的中心之间的距离为350mm-450mm，四个所述第一取样装置环绕所述炉盖的中心对称排布，四个所述第一取样装置通过管路相连；所述第二取样装置与所述单晶炉的炉底之间的距离为1500mm-1600mm，四个所述第二取样装置均匀分布在所述炉筒的同心圆上，四个所述第二取样装置通过管路相连；所述第三取样装置与所述单晶炉的炉底之间的距离为900mm-1300mm，四个所述第三取样装置均匀分布在所述炉筒的同心圆上，四个所述第三取样装置通过管路相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 天合光能(青海)晶硅有限公司 包括取样装置的单晶炉以及控制单晶炉内有害气体和漂浮物的方法
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