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申请/专利权人：苏州田边热能科技有限公司
摘要：本发明涉及冷却装置技术领域，尤其是涉及一种连续式退火炉，包括安装架，所述安装架上设置有退火炉体，所述安装架内设置有放料托盘和循环输送机构，所述放料托盘设置在所述循环输送机构上且用于固定放置硅片材料，所述循环输送机构用于带动所述放料托盘循环移动，所述退火炉体内设置有冷却腔壳和多组分隔组件，多组所述分隔组件将所述冷却腔壳内部沿所述循环输送机构的输送方向依次分隔为保温腔室和多个冷却腔室，所述退火炉体上设置有用于分别对多个所述冷却腔室内的硅片材料进行冷却的冷却机构，多个沿所述循环输送机构的输送方向依次设置的所述冷却腔室内的冷却速度逐渐加快，所述安装架上设置有用于对穿过所述退火炉体的硅片材料进行温度检测的检测组件。本申请具有提升硅片材料在退火炉内的退火效果，提高硅片材料退火处理后的良品率的效果。
主权项：1.一种连续式退火炉，其特征在于：包括安装架1，所述安装架1上设置有退火炉体2，所述安装架1内设置有放料托盘3和循环输送机构，所述放料托盘3设置在所述循环输送机构上且用于固定放置硅片材料，所述循环输送机构用于带动所述放料托盘3循环移动，所述退火炉体2内设置有冷却腔壳4和多组分隔组件5，多组所述分隔组件5将所述冷却腔壳4内部沿所述循环输送机构的输送方向依次分隔为保温腔室6和多个冷却腔室7，所述退火炉体2上设置有用于分别对多个所述冷却腔室7内的硅片材料进行冷却的冷却机构，多个沿所述循环输送机构的输送方向依次设置的所述冷却腔室7内的冷却速度逐渐加快，所述安装架1上设置有用于对穿过所述退火炉体2的硅片材料进行温度检测的检测组件8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州田边热能科技有限公司 一种连续式退火炉
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