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一种氮化硅板的边废掰料机构及划线除废系统 

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申请/专利权人:四川富乐华半导体科技有限公司

摘要:本发明公开了一种氮化硅板的边废掰料机构及划线除废系统,涉及切割设备技术领域,可解决目前氮化硅板在去除划线后的边废时需要人工掰断,操作麻烦,效率低的问题。本发明实施例的一种氮化硅板的边废掰料机构,包括倒立设置的直线驱动结构和设置于直线驱动结构输出端的掰料结构,其中:掰料结构包括至少两块平行设置的掰料板;所述掰料板的底部为依次连接的第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面;第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面分别为水平面、倾斜面和水平面;第一掰料面、第二掰料面和第三掰料面用于在掰料过程中依次对边废的外部区域、中部区域和边缝边缘区域施加作用力。

主权项:1.一种氮化硅板的边废掰料机构,其特征在于,包括倒立设置的直线驱动结构和设置于直线驱动结构输出端的掰料结构,其中:掰料结构包括至少两块平行设置的掰料板(13);所述掰料板(13)的底部为依次连接的第一掰料面(131)、第二掰料面(132)和第三掰料面(133);第一掰料面(131)、第二掰料面(132)和第三掰料面(133)分别为水平面、倾斜面和水平面;第一掰料面(131)、第二掰料面(132)和第三掰料面(133)用于在掰料过程中依次对边废的外部区域、中部区域和边缝边缘区域施加作用力。

全文数据:

权利要求:

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