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一种表面缺陷检测方法 

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申请/专利权人:广东鸿浩半导体设备有限公司

摘要:本发明提供了一种表面缺陷检测方法,该检测方法包括:获取待检测物图像,并将所述待检测物图像输入预先训练好的的神经网络模型中,得到记载有检测分数的多个检测框;将所述多个检测框记载的检测分数分别映射到二维数组内;利用预先拟合的检测分数转RGB多项式回归公式,将所述二维数组记载的各检测分数映射为三维RGB数值;根据所述三维RGB值生成热力图,将所述热力图叠加到所述待检测物图像上,以展示热力图内显示的异常点。本发明表面缺陷检测方法,利用二维检测分数转三维RGB多项式回归公式将带有检测分数的二维数组重新映射为三维数组RGB数值,据此生成热力图,以便于直观快速且准确的判断出待检测物中的异常点位。

主权项:1.一种表面缺陷检测方法,其特征在于,包括:获取待检测物图像,并将所述待检测物图像输入预先训练好的的神经网络模型中,得到记载有检测分数的多个检测框;将所述多个检测框记载的检测分数分别映射到二维数组内;将所述检测分数进行拟合,再将拟合的检测分数转RGB多项式回归公式;利用所述检测分数转RGB多项式回归公式将所述二维数组记载的各检测分数映射为三维RGB数值;根据所述三维RGB数值生成热力图,将所述热力图叠加到所述待检测物图像上,以展示热力图内显示的异常点。

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权利要求:

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