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一种卷绕镀膜屏蔽方法 

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申请/专利权人:顺束科技(天津)合伙企业(有限合伙)

摘要:本发明公开了一种卷绕镀膜屏蔽方法,涉及等离子体表面处理技术领域。该方案采用屏蔽装置,屏蔽装置包括屏蔽挡板、冷却导电管、冷辊、永磁体,冷却导电管间隔卷绕于屏蔽挡板上,永磁体设置于冷辊内并沿冷辊的转动中心轴间隔排布;该屏蔽方法为:向冷却导电管通电,冷辊内磁场和屏蔽挡板的内磁力线方向为同向,屏蔽挡板与冷辊之间的磁场强度为0mT~80mT,磁场均匀度为5%~10%;向冷却导电管内通入冷却液,冷却液通入的液流速度为1Ls~5Ls,使冷却导电管工作时表面温度为‑20℃~20℃。其通过磁场对等离子体进行精确控制,避免等离子体在屏蔽挡板和冷辊狭缝内绕射而对无聚合物覆盖的冷辊进行镀膜,从而对冷辊表面进行保护,具有屏蔽效果好、延长冷辊使用寿命的优点。

主权项:1.一种卷绕镀膜屏蔽方法,其特征在于,采用屏蔽装置,所述屏蔽装置包括屏蔽挡板1、冷却导电管2、冷辊3、永磁体4,所述屏蔽挡板1设置于所述冷辊3外并与所述冷辊3保持间距,所述冷却导电管2间隔卷绕于所述屏蔽挡板1上,所述冷却导电管2内中空且两端开口,可向所述冷却导电管2内通入冷却液;所述永磁体4设置于所述冷辊3内并沿所述冷辊3的转动中心轴间隔排布;聚合物5沿垂直于所述冷辊3的中心轴布置,所述屏蔽挡板1的长度小于聚合物5的横向宽度,聚合物5的横向宽度小于所述冷辊3的长度,所述屏蔽挡板1与所述冷辊3相距1mm~5mm;该屏蔽方法为:向所述冷却导电管2通电,使所述冷辊3内磁场和所述屏蔽挡板1的内磁力线方向为同向,并使所述屏蔽挡板1与所述冷辊3之间的磁场强度为15mT~80mT,磁场均匀度为5%~10%;向所述冷却导电管2内通入冷却液,所述冷却液通入的液流速度为1Ls~5Ls,使冷却导电管2工作时表面温度为-20℃~20℃。

全文数据:

权利要求:

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