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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本发明提供了一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法，属于MEMS技术水声通信传感技术领域，包括陶瓷管壳，定义上端面、下端面以及外侧面均为第一安装面，定义棱边面为第二安装面；第一安装面上安装有ASIC芯片，ASIC芯片的外端面安装有MEMS水听器芯片；任一第二安装面上设有电源焊盘和接地焊盘，其余第二安装面上设有多个输出焊盘。本发明提供的一种三维压差式MEMS矢量水听器，在中高频段性能优于质点振速型矢量水听器，可以空间共点、时间同步测得声场中某场点声压和声压梯度信息，实现水下声源测向、定位等功能。相比于传统压电陶瓷水听器，更小的重量、更低的功耗，更高的可靠性，更快的响应速度，更高的分辨率和灵敏度，更大的动态范围。
主权项：1.一种三维压差式MEMS矢量水听器，其特征在于，包括陶瓷管壳，所述陶瓷管壳具备上端面、下端面以及周向围设于所述上端面和所述下端面之间的多个外侧面，相邻所述外侧面之间设置有棱边面，定义所述上端面、所述下端面以及所述外侧面均为第一安装面1，定义所述棱边面为第二安装面2；所述第一安装面1上安装有ASIC芯片3，所述ASIC芯片3的外端面安装有MEMS水听器芯片4，所述MEMS水听器芯片4、所述ASIC芯片3以及所述第一安装面1依次电连接；任一所述第二安装面2上设有电源焊盘9和接地焊盘10，其余所述第二安装面2上设有多个输出焊盘11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法
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