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一种电容器件及电容器件的制造方法 

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申请/专利权人:武汉新芯集成电路股份有限公司

摘要:本申请公开了一种电容器件及电容器件的制造方法,电容器件包括:半导体基体、至少三层电极板层、至少两层绝缘层;至少三层电极板层层叠设置在半导体基体上,其中,第一电极板层包括连接部和多个延伸部,多个延伸部分别与连接部连接,第二电极板层覆盖延伸部,第三电极板层覆盖第二电极板层;第一绝缘层设置在延伸部和第二电极板层之间,第二绝缘层设置在第二电极板层和第三电极板层之间。即本申请的技术方案,通过形成多层电极板层,且第一电极板层包括连接部和延伸部,在延伸部上形成多层电极板层,并且在垂直方向上增加绝缘层面积,进而有效提升电容器件的电容值,以提升后续产品的性能。

主权项:1.一种电容器件,其特征在于,包括:半导体基体;至少三层电极板层,层叠设置在所述半导体基体上,其中,第一电极板层包括连接部和多个延伸部,多个延伸部分别与所述连接部连接,第二电极板层覆盖所述延伸部,第三电极板层覆盖所述第二电极板层;至少两层绝缘层,其中,第一绝缘层设置在所述延伸部和第二电极板层之间,第二绝缘层设置在第二电极板层和所述第三电极板层之间。

全文数据:

权利要求:

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