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申请/专利权人：北京工业大学
摘要：本发明公开了一种消除原子力显微镜图像失真的扫描方法，属于原子力显微镜技术领域。所述方法为：预设扫描图像像素点为N乘以N。扫描器XY方向的扫描范围均大于要提取图像的尺寸。X方向运动为加前馈补偿的闭环三角波周期运动，需经过L个训练周期后与预期三角波基本一致。Y方向为直线匀速运动，在X方向运动L个训练周期时，此时Y方向运行了一段距离，此时不提取图像。之后，X方向每次三角波往复运动过程中取去程或者回程中间段均匀采样N次，作为提取图像的有效像素点，直到运行N个周期，如此可得到N乘以N个有效图像点，以此作为最终的扫描图像。利用该方法得到的图像能有效消除以往因扫描器XY方向非线性运动引起的图像边缘失真的问题，并且该方法还适用于扫描器XY方向扫描频率改变的情况。
主权项：1.一种消除原子力显微镜扫描图像失真的扫描方法，其特征在于，扫描器XY方向的实际扫描范围均大于要提取图像区域的尺寸；所述扫描器XY方向均为闭环运动；所述扫描器X方向为三角波周期运动，Y方向为直线运动；所述扫描器X方向三角波周期运动采用前馈补偿的控制方法，经过数个训练周期后，再提取X方向运动的中间段作为提取图像的有效区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种消除原子力显微镜图像失真的扫描方法
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