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申请/专利权人：北京信息科技大学
摘要：本发明公开的激光烧蚀制备EGaIn石墨烯复合柔性电容器的方法，属于柔性传感器领域。本发明实现方法为：用刷子将EGaIn涂在SEBS基板上，所得到的EGaIn薄膜用作电流集电极；通过预先设计的模板丝网印刷石墨烯浆料，将石墨烯选择性地沉积在EGaIn薄膜的所需区域上，得到石墨烯EGaIn双层；激光沿着预先设计的路径照射以制造图案；利用激光控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，将聚二甲基硅氧烷PDMS液体涂覆在交叉电极区域，渗透到石墨烯层中，实现PDMS对EGaIn层的粘附，得到EGaIn石墨烯复合柔性电容器。通过EGaIn石墨烯复合结构，利用激光合理控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，能够获得具有高面电容、高灵敏度、快速响应时间的柔性电容器。
主权项：1.激光烧蚀制备EGaIn石墨烯复合柔性电容器的方法，其特征在于：包括如下步骤，步骤一：用刷子将EGaIn涂在SEBS基板上，所得到的EGaIn薄膜用作电流集电极；步骤二：通过预先设计的模板丝网印刷石墨烯浆料，将石墨烯选择性地沉积在EGaIn薄膜的所需区域上，得到石墨烯EGaIn双层；步骤三：激光沿着预先设计的路径照射以制造图案；步骤四：利用激光控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，将聚二甲基硅氧烷PDMS液体涂覆在交叉电极区域，渗透到石墨烯层中，实现PDMS对EGaIn层的粘附，得到EGaIn石墨烯复合柔性电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京信息科技大学 激光烧蚀制备EGaIn/石墨烯复合柔性电容器的方法
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