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一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料 

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申请/专利权人:广东欧莱高新材料股份有限公司

摘要:本发明公开了一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料,本发明通过向纯铝中添加特定量的硅及铜以此来提升其合金膜层反射率,同时通过合理添加镍、镧、铬和锰元素之中的两种及以上元素所形成合金相,具有提升其热稳定性及较高附着力并具有低电阻的特性,高熵铝合金溅射镀膜材料的晶体结构是至少混合分布有以AlSiCu为基体的五元及四元、三元等多元合金混合物,是一种同时兼具有较低接触电阻、耐氧化性强、高反射率和高附着力的铝合金膜层材料。

主权项:1.一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料,其特征在于:该合金材料为AlSiCuX合金,是由Al、Si、Cu、X元素组成,其中,X元素为Ni、La、Cr和Mn中的任意两种元素,按元素原子百分比,2<Cu<5at%,1<Si<3at%,2<X<10at%,余量为Al以及不可避免的微量杂质元素,其晶体结构是至少混合分布有以AlSiCu为基体的五元合金、四元合金和三元的多元合金混合物。

全文数据:

权利要求:

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