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申请/专利权人：北京信息科技大学
摘要：本发明公开了一种五边辐式柔性温压双模态传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性衬底层和柔性封装层，衬底层的上表面设置有五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元；一个纵向分布的金属温敏薄膜作为压力检测单元；柔性衬底层设有空腔，且与封装层的密闭连接。五边辐式温敏薄膜的均匀分布可以有效地分散压力，减小局部应力集中所造成的测量误差，结构稳定性强。温敏薄膜采用MEMS技术进行加工制作，具有轻量化、造价低、制作工艺简单等优点，可广泛应用于可穿戴电子设备等领域。
主权项：1.一种五边辐式柔性温压双模态传感器，其特征在于，包括柔性衬底层和柔性封装层，其中，所述柔性衬底层设有矩形腔体，腔体高度与柔性衬底厚度相同，贯通衬底层，使得腔体内的工作气体与外界连通；其表面设置有图形化电极的金属温敏薄膜，分为横向分布和纵向分布两种图形化电极金属温敏薄膜，五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元，一个纵向分布的金属温敏薄膜与封装层联用作为压力检测单元；所述柔性封装层与衬底层保持密闭连接；定义所述柔性封装层上表面中心位置的纵向分布温敏薄膜的平行方向为Y向，垂直方向为X向，其高度方向为Z向；纵向分布温敏薄膜正上方放置横向分布温敏薄膜，其平行方向为X向，以其中心为一个端点，做正五边形，其他四个端点为另外四个横向分布温敏薄膜的中心，这五个横向分布的温敏薄膜按环形阵列分布，形成五边辐式结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京信息科技大学 一种五边辐式柔性温压双模态传感器
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