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申请/专利权人：聚束科技(北京)有限公司
摘要：本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子。本发明反射器实现了反射样品上产生的不同角度散射的光子到光子检测器上，光子检测器收集光子的范围大，效率高。
主权项：1.一种扫描电子显微镜，其特征在于：包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上；所述反射器至少包括第一反射面和第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面用于反射所述样品上产生的不同角度散射的光子；所述反射器为环形，覆盖在所述样品四周的上方，所述反射器包括通过中心孔连通的出光口和端口，所述出光口和所述端口分别位于所述中心孔的两端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚束科技(北京)有限公司 一种扫描电子显微镜
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