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申请/专利权人：深圳珑璟光电科技有限公司

摘要：本发明实施例提供一种拼版工作模板及其制作方法、批量制作衍射光栅的方法，该拼版工作模板的制作方法包括：步骤S1：提供含有单组衍射光栅图案的工作模板，对含有单组衍射光栅图案的工作模板进行裁剪，得到一个或多个待拼版的工作模板，其中，单组衍射光栅图案包括一个或多个衍射光栅区，衍射光栅区的结构与衍射光栅的结构凹凸相反；步骤S2：提供第一工作模板基底，将多个待拼版的工作模板按照预定排列顺序分别通过贴合胶层贴合于第一工作模板基底上，得到拼版工作模板。通过上述制作方法制作得到的拼版工作模板后续通过纳米压印后可得到大尺寸压印模板，该制作方法能降低大尺寸压印模板的制作成本，且能提高衍射波导片的量产效率。

主权项：1.一种批量制作衍射光栅的方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1：提供第二工作模板基底和含有单组衍射光栅图案的压印模板，在所述含有单组衍射光栅图案的压印模板上形成一抗粘层，在所述含有单组衍射光栅图案的压印模板上形成一模板胶层，将所述第二工作模板基底贴附于所述模板胶层上，并在所述第二工作模板基底的表面施加压力，待所述模板胶层固化后，脱去所述含有单组衍射光栅图案的压印模板，得到所述含有单组衍射光栅图案的工作模板，对所述工作模板进行裁剪，得到一个或多个待拼版的工作模板，其中，所述单组衍射光栅图案包括一个或多个衍射光栅区，所述衍射光栅区的结构与所述衍射光栅的结构凹凸相反，所述衍射光栅区的结构包括凸起结构和凹陷结构，所述衍射光栅的结构包括凸起结构和凹陷结构，所述衍射光栅区中的凸起结构对应于所述衍射光栅中的凹陷结构，所述衍射光栅区中的凹陷结构对应于所述衍射光栅中的凸起结构；步骤S2：提供第一工作模板基底，将多个所述待拼版的工作模板按照预定排列顺序分别通过贴合胶层贴合于所述第一工作模板基底上，得到所述拼版工作模板；步骤S3：提供目标基底，在所述目标基底上形成一压印胶层；步骤S4：将所述拼版工作模板贴附于所述压印胶层上，并在所述拼版工作模板的表面施加压力；步骤S5：待所述压印胶层固化后，脱去所述拼版工作模板，得到含有多组衍射光栅图案的压印片；步骤S6：对所述压印片进行切割，得到多组衍射光栅。

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