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申请/专利权人：准懋(杭州)科技有限公司
摘要：公开了一种MEMS器件，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第一反馈电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第一反馈电极板与所述可动电极板构成第一反馈电容；位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第二反馈电极板，所述第二电极板与所述可动电容构成第二电容，所述第二反馈电极板与所述可动电极板构成第二反馈电容；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至检测电路，所述检测电路用于对所述第一电容和所述第二电容进行差分检测；所述第一反馈电容和所述第二反馈电容连接至反馈电路，所述反馈电容用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。
主权项：1.一种MEMS器件，其中，包括：可动电极板；位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和第一反馈电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容，所述第一反馈电极板与所述可动电极板构成第一反馈电容；位于所述可动电极板第二侧的第二电极板和第二反馈电极板，所述第二电极板与所述可动电极板构成第二电容，所述第二反馈电极板与所述可动电极板构成第二反馈电容；以及运算放大器；其中，所述第一电容和所述第二电容连接至所述运算放大的反相输入端，构成检测电路，所述检测电路用于对所述第一电容和所述第二电容进行差分检测；所述第一反馈电容和所述第二反馈电容连接至所述运算放大器的反相输入端和输出端之间，构成反馈电路，所述反馈电路用于消除所述检测电路的输出电压与可动电极板位移的非线性关系。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 准懋(杭州)科技有限公司 一种MEMS器件
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