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申请/专利权人：星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
摘要：本发明揭示了复合等离子体清洗方法，包括如下步骤：S1，将工件置于真空室内的工件架上；S2，将真空室抽真空；S3，向真空室内充入惰性气体使真空室内的气压处于偏压辉光清洗和离子束清洗均可工作的工作压力；S4，开启偏压电源及离子束源对真空室内的工件同时进行偏压辉光清洗和离子束清洗。本发明将偏压辉光清洗和离子束清洗结合来同步对真空室内的工件进行清洗，能够将两种清洗方式的优点完美结合，并实现它们缺点的互补，达到大面积、大规模清洗和局部定向清洗的有效结合，这样不仅能够提高清洗效果，适用于批量清洗需要，同时，一炉工件能够在半小时内全部完成清洗，清洗时间大大减少，有效地提高了清洗效率。
主权项：1.复合等离子体清洗方法，其特征在于：包括如下步骤：S1，将工件置于真空室内的工件架上；S2，将真空室抽真空；S3，向真空室内充入惰性气体使真空室内的气压处于偏压辉光清洗和离子束清洗均可工作的工作压力；S4，开启偏压电源及离子束源对真空室内的工件同时进行偏压辉光清洗和离子束清洗；所述真空室内设置的离子束源为阳极层离子源且它们均匀分布在工件架周围；所述偏压电源工作时的电压在700-2000V之间；所述离子束源工作时的电压在300-2000V之间；所述阳极层离子源的内阴极和外阴极的水平距离在4-8mm之间，阴阳极在高度方向上的距离在4-8mm之间；所述真空室内的气压在0.6-10Pa之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 复合等离子体清洗方法
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