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申请/专利权人：蒙城繁枫真空科技有限公司
摘要：本发明公开了一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，涉及蒸镀技术领域。包括外壳，所述外壳顶部内壁设置有加热机构，所述加热机构包含保护壳，所述保护壳内壁固定连接有固定框。本发明通过加热机构、开合机构和调节机构的设置，在使用过程中，首先将蒸发材料放置在第一固定板上，并通过第一弹性板进行固定，也可以通过按压第一连接板和弹簧的作用下将支撑管和限位卡块通过固定框顶部的槽口滑动，并旋转固定，最后第一安装块上的加热器启动将加热杆加热并通过支撑板和连接柱对第一固定板进行加热，气流通过保护壳、第一固定板和支撑柱，形成均匀的气流通道，提高镀膜的均匀性，该装置结构较为简单，实用性较强，适合推广。
主权项：1.一种饱和气体等级分流模式的蒸发源，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）顶部内壁设置有加热机构（2），所述加热机构（2）包含保护壳（201），保护壳（201）内壁固定连接有固定框（202），固定框（202）内部设置有加热组件，所述固定框（202）顶部中央开设有通孔，通孔内滑动连接有支撑管（203），支撑管（203）外壁固定连接有第一连接板（204），所述第一连接板（204）底部四个拐角安装有弹簧（205），弹簧（205）一端和固定框（202）顶部外壁相接触，所述支撑管（203）底部外壁固定连接有限位卡块（206），支撑管（203）一端固定连接有弧形第一固定板（207），第一固定板（207）两侧固定连接有弧形第一弹性板（208），所述支撑管（203）内壁滑动连接有连接柱（209），连接柱（209）一端和第一固定板（207）底部相接触，所述保护壳（201）底部固定连接有支撑柱（214），支撑柱（214）一端固定连接有第一分级板（3），第一分级板（3）和外壳（1）内壁之间相连接，所述第一分级板（3）底部固定连接有连接管（4），连接管（4）底部固定连接有第二分级板（5），第二分级板（5）外壁和外壳（1）内壁之间相连接，所述第二分级板（5）顶部开设有等距的通孔，通孔外设置有开合机构（6），开合机构（6）底部设置有调节机构（7）。
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权利要求：
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