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申请/专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司

摘要：本发明提供石英坩埚熔制前底部合成砂扬砂装置及扬砂方法，涉及石英坩埚熔制装置技术领域，包括储料组件、散砂器，所述散砂器包括连接件、锥形分布板，所述连接件的一端与所述储料组件连接，所述连接件的另一端与所述锥形分布板固定连接，所述锥形分布板距石英坩埚底部120‑220mm，所述锥形分布板的斜面与水平面的夹角为27°‑35°，储料组件通过连接件与锥形分布板连接，所述锥形分布板距石英坩埚底部120‑220mm，石英坩埚在预定的位置自传，打开储料组件的底部，将高纯砂落到所述锥形分布板上，通过所述锥形分布板将高纯砂分散到石英坩埚的底部，用锥形分布板代替工作人员手工散料，将扬砂的高度降低，避免高纯砂散落到石英坩埚外面，减少原料高纯砂的浪费。

主权项：1.一种石英坩埚熔制前底部高纯砂扬砂方法，其特征在于：使用石英坩埚熔制前底部高纯砂扬砂装置，在已成型的粉料腔底部铺撒高纯砂，所述装置包括储料组件、散砂器，所述散砂器包括连接件、锥形分布板，所述连接件的一端与所述储料组件连接，所述连接件的另一端与所述锥形分布板固定连接，所述锥形分布板距已成型的粉料腔底部140-240mm，所述锥形分布板的斜面与水平面的夹角为27°-35°，所述锥形分布板上设置数个散料孔；所述连接件包括连接竖杆、紧固抱箍；所述储料组件包括料筒、送料管，所述料筒的底部与所述送料管的一端连接，所述送料管的另一端被所述紧固抱箍抱紧；所述送料管被所述紧固抱箍抱紧的一端距锥形分布板的顶部30-60mm；所述石英坩埚熔制前底部高纯砂扬砂装置还包括往复组件，所述往复组件包括：底板、导轨、丝杆、驱动件、架体，所述底板的两侧固定安装所述导轨，所述底板的一端安装所述驱动件，所述导轨与架体滑动连接，所述丝杆的端部与所述驱动件连接，所述丝杆的杆体中部与所述架体连接，所述架体与所述储料组件连接；S1：所述驱动件驱动所述丝杆转动，所述丝杆转动带动所述架体沿着所述导轨滑动至最大长度，使所述锥形分布板的轴心与所述已成型的粉料腔的轴心同轴；S2：所述已成型的粉料腔自转，所述料筒的石英砂开始下料，打开所述驱动件，所述驱动件驱动所述丝杆转动，所述架体开始左右往复移动，带动所述锥形分布板在所述已成型的粉料腔的半径内左右移动。

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