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申请/专利权人：惠然科技有限公司

摘要：本申请公开了一种用于检测半导体高度的方法、高度检测系统及相关产品。该方法应用于高度检测系统，具体包括：利用偏振分束镜对激光光束发射单元输出的检测光束进行分束，以形成不同偏振方向的偏振光束；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射不同偏振方向的偏振光束，使其在偏振分束镜处合束成叠加光信号；利用第一光调制器将叠加光信号调制成调制光信号；利用光电探测器将调制光信号转换成携带相位差的电信号；利用锁相放大器解析电信号，以获得参考反射光束与样本反射光束的相位差；以及根据相位差计算半导体的高度信息。通过本申请实施例的方案，能够通过更易实现的系统设计，快速、准确地完成半导体高度信息的检测。

主权项：1.一种用于检测半导体高度的方法，其特征在于，应用于高度检测系统，所述高度检测系统包括：激光光束发射单元、相干光束耦合单元和信号处理单元，所述相干光束耦合单元包括设置在参考光路和样本光路的交界处的偏振分束镜，所述信号处理单元包括依次设置在所述偏振分束镜的合束光路上的第一光调制器、光电探测器和锁相放大器；所述方法包括：利用所述偏振分束镜对所述激光光束发射单元输出的检测光束进行分束，以形成不同偏振方向的偏振光束；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射所述不同偏振方向的偏振光束，使其在所述偏振分束镜处合束成叠加光信号；利用第一光调制器将所述叠加光信号调制成调制光信号；利用光电探测器将所述调制光信号转换成携带相位差的电信号；利用锁相放大器解析所述电信号，以获得参考反射光束与样本反射光束的相位差；以及根据所述相位差计算所述半导体的高度信息，其中不同偏振方向的偏振光束包括第一偏振光束和第二偏振光束；所述相干光束耦合单元还包括设置所述参考光路上的参考光路反射镜以及设置在所述样本光路上的样本光路反射镜；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射所述不同偏振方向的偏振光束，使其在所述偏振分束镜处合束成叠加光信号包括：沿所述参考光路传播所述第一偏振光束；利用所述参考光路反射镜反射所述第一偏振光束，以形成沿所述参考光路返回至所述偏振分束镜的参考反射光束；沿所述样本光路传播所述第二偏振光束；利用所述样本光路反射镜将所述第二偏振光束反射至半导体；利用所述样本光路反射镜接收所述半导体反射所述第二偏振光束所形成的样本反射光束；沿所述样本光路将所述样本反射光束传播至所述偏振分束镜处；以及在所述偏振分束镜处将所述参考反射光束和所述样本反射光束合束，以形成所述叠加光信号；其中所述样本光路反射镜包括第一样本光路反射镜和第二样本光路反射镜，所述第一样本光路反射镜和所述第二样本光路反射镜设置在所述半导体的两侧；其中沿着样本光路传播并反射偏振光束包括：沿所述样本光路传播所述第二偏振光束；利用所述第一样本光路反射镜将所述第二偏振光束反射至所述半导体；利用所述第一样本光路反射镜和所述第二样本光路反射镜接收所述半导体反射的样本反射光束；以及利用所述第一样本光路反射镜，将所述样本反射光束沿所述样本光路反射回所述偏振分束镜。

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